EMS1050 低溫灰化儀

應(yīng)用領(lǐng)域：

l  生物芯片領(lǐng)域

l  醫(yī)用材料、光學(xué)材料研究

l  電子半導(dǎo)體領(lǐng)域

l  高分子材料研究

l  電化學(xué)、高端零部件處理

l  有機(jī)材料的灰化、刻蝕

儀器性能：

l  自動(dòng)調(diào)頻高頻發(fā)生器

l  內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵

l  此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機(jī)物質(zhì)（碳?xì)浠衔铮?，氬?duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕

l  低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)

l  真空監(jiān)測(cè).

l  雙重氣流針閥控制

l  精確時(shí)間定時(shí)

l  微處理器程序設(shè)置

l  LCD狀態(tài)數(shù)字顯示

l  腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，樣本操作方便

l  聚碳酸脂安全防護(hù)  

技術(shù)參數(shù)：