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      OAI - 光刻機(jī)

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      產(chǎn)品特點(diǎn)

      全面的曝光系統(tǒng)
      0.5μ 精確正面對(duì)準(zhǔn)
      1μ 正反面對(duì)準(zhǔn)
      高產(chǎn)量:170 WPH in 1st Mask Mode
      均勻性優(yōu)于 ±3%
      適用于各種規(guī)格的芯片
      自動(dòng)平衡補(bǔ)償
      適用于超強(qiáng)工藝的重復(fù)性要求
      亞微米分辨率

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品介紹:

      OAI Series 6000 生產(chǎn)型曝光機(jī)

      全面的曝光系統(tǒng)
      • 0.5μ 精確正面對(duì)準(zhǔn)

      • 1μ 正反面對(duì)準(zhǔn)

      • 高產(chǎn)量:170 WPH in 1st Mask Mode

      • 均勻性優(yōu)于 ±3%

      • 適用于各種規(guī)格的芯片

      • 自動(dòng)平衡補(bǔ)償

      • 適用于超 強(qiáng)工藝的重復(fù)性要求

      • 亞微米分辨率

       

       


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