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      小型二次離子質(zhì)譜儀

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      詳細(xì)介紹

      儀器簡(jiǎn)介:
      1.適合做多層薄膜的深度分析。
      2.很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。
      3.方便使用。
      4.樣品可以手動(dòng)轉(zhuǎn)換,由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。
      5.我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍?zhuān)刮覀兛梢暂p松處理絕緣的樣品。
      6.我們還可以做元素成像(就象化學(xué)地圖)和混合模式掃描,自動(dòng)測(cè)量正、負(fù)和中性粒子。
      7.我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺(tái),很容易滿足很多其它分析的使用。

      結(jié)構(gòu)緊湊,但不損失性能。真正的高性價(jià)比。

      技術(shù)參數(shù):
      質(zhì)量數(shù)范圍:300,510或1000amu
      分辨率:5%的谷,兩個(gè)相連的等高峰。
      檢測(cè)器:離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,正、負(fù)離子檢測(cè)
      檢測(cè)限:1:10E7
      質(zhì)量過(guò)濾器:三級(jí)過(guò)濾四極桿(9mm桿)
      主離子槍?zhuān)?A,氧離子或其它氣體,能量到5KeV
      B,Ga離子槍?zhuān)芰?5KeV(選配)
      空間分辨率:A:100~150um
      B: 50nm
      取樣深度:2個(gè)單分子層(靜態(tài))
      不受限制(動(dòng)態(tài))


      主要特點(diǎn):
      高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
      SIMS 成像,分辨率在微米以下
      光柵控制,增強(qiáng)深度分析能力
      所有能量范圍內(nèi),離子行程的最小擾動(dòng),及恒定離子傳輸
      差式泵3級(jí)過(guò)濾四極桿,質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu
      靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器
      Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過(guò)壓保護(hù)
      通過(guò)RS232、RS485或Ethernet LAN,軟件 MASsoft控制

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