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      Diener FEMTO 微波等離子清洗機(jī)

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      詳細(xì)介紹

      德國Diener electronic成立于1993年,是世界低溫等離子工業(yè)的,是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。
      用途:
      Diener等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等??蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。
      Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn),主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場合:
      半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等等。
      Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn):
      可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會對操作人員的身體造成任何傷害;其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

      Femto A

      Femto C

      Femto D

      Femto B

      Femto E

      應(yīng)用:
      表面清潔
      (e.g. before bonding, soldering or gluing)
      表面活化
      (e.g. before printing, varnishing or gluing)
      表面蝕刻
      (e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
      表面涂層
      (e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)

      應(yīng)用領(lǐng)域:

      REM, TEM考古汽車制造業(yè)橡膠制造業(yè)
      微機(jī)械制造傳感器檢測滅菌紡織業(yè)
      醫(yī)療器械制造業(yè)塑料制造業(yè)研發(fā)部門電子半導(dǎo)體行業(yè)


      規(guī)格、參數(shù):

      系列

      Femto

      控制系統(tǒng)

      半自動型

      PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

      PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

      體積

      1.9~6L

      真空腔室

      圓形不銹鋼件,配有蓋子
      (大約 Φ 100 mm, 278 mm 或者長 600 mm

      矩形不銹鋼件,配有鉸鏈的門
      (約寬 103 x 285 x 103)

      配有蓋子的圓形鋁材,或者配有鉸鏈的門
      (大約Φ 95 mm, 280 mm 或者長 600 mm

      配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
      (大約 Φ 95 mm, 280 mm 或者長 600 mm

      配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門
      (大約Φ 95 mm,長 280 mm 或者長 600 mm

      電極

      單層或多層

      RIE

      樣品支架

      (選項(xiàng):水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

      氣源

      針型閥

      質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

      壓力計

      Pirani

      Baratron(適用于腐蝕性氣體版本)

      計時器

      數(shù)字型

      高頻電流發(fā)生器

      40 kHz: 功率 0 - 100 W;0 - 1000 W

      13.56 MHz;功率 0 - 50 W;0 - 300 W

      12.45 GHz: 功率 0 - 100 W0 - 300 W

      所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型

      真空泵

      KASHIYAMA

      電源

      供電電源: 臺式設(shè)備為 230 V,立式設(shè)備為 400 V/3 相位

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