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      DIENER PLASMA ATTO 等離子清洗機

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      DIENER PLASMA ATTO 等離子清洗機 核心參數(shù)
      樣品腔尺寸 Dia.211x300mm 樣品腔容積 10.5L
      射頻功率 200/300W 頻率 40kHz,13.56MHz

      產(chǎn)品特點

      10.5升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 為手動型,配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng),主要用于以下領(lǐng)域:小批量生產(chǎn),分析 (REM, TEM),YL技術(shù),滅菌,研究和開發(fā)部門,考古,紡織技術(shù),塑料技術(shù)。

      詳細介紹

      10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 為手動型,配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng),主要用于以下領(lǐng)域:

      • 小批量生產(chǎn)

      • 分析 (REM, TEM)

      • 醫(yī)療技術(shù)

      • 滅菌

      • 研究和開發(fā)部門

      • 考古

      • 紡織技術(shù)

      • 塑料技術(shù)

      等離子設(shè)備 Atto,配有手動控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統(tǒng),用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻等離子設(shè)備 Atto,配有外部 PC 控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統(tǒng),用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統(tǒng)等離子設(shè)備 Atto,配有內(nèi)置式 PC 控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統(tǒng),用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統(tǒng)


      系列

      Atto 手動控制

      Atto 外部PC控制

      Atto 集成PC控制

      控制系統(tǒng)

      手動型、通過模擬計時器測定工藝時間

      PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XP)

      PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)

      體積

      10.5L

      真空腔室

      玻璃材質(zhì)、? 211 mm、長 300 mm

      樣品支架

      1個樣品支架

      氣源

      2 個由針型閥控制的氣體通道

      2 個由 MFCs 控制的氣體通道

      2 個由 MFCs 控制的氣體通道

      高頻電流發(fā)生器

      40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配

      真空泵

      5 m3/h

      外尺寸

      525 mm、高 275 mm、深 450 mm

      電源電壓

      AC220V




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